産005 - 元素分析装置(EDS)搭載電界放射走査電子顕微鏡システム

日本電子 JSM-F100

  • 予約状況

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    画像

    設置場所

    建屋・棟: 産業科学研究所 第2研究棟 
    番号: 産業科学ナノテクノロジーセンター
    フロア: S 107-1
  • 利用料金

    自主分析
    自主分析時間数:利用実績から決定する
    6,820 円(1時間あたり)

    詳細

    概要・性能: 本装置は、インレンズショットキー電界放出効果によって発生させた輝度の高い電子ビームを集束し、試料の走査を行い対象部から発生する二次電子を検出することで、試料表面の観察像(二次電子像)を得る装置である。観察像の倍率は10倍から100万倍、加速電圧は0.01kVから30kV、分解能(低真空)は加速電圧30kVの場合1.8nmである。加えて対象部から発生する特性X線をEDSにより検出することで、試料表面のミクロンオーダーの元素分析を行うことが出来る。測定できる元素はBからUまで、エネルギー分解能は135eVである。
    最新のLIVE-AIフィルター等オート機能が充実したユーザーフレンドリーな装置で、無機・金属・半導体、バイオなどの幅広い分野で利用が期待される。
    注意事項: この機器は国立大学法人、大学共同利用機関法人及び国立高等専門学校機構等のアカデミアに対してのみ開放しております

    基本情報

    機器番号: 産005
    機器状態: 利用可能
    カテゴリー: 07.電子顕微鏡
    機器担当者: 村上 洋輔
    機器部局: 産業科学研究所

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