研究設備・機器共通予約システム

本装置は、インレンズショットキー電界放出効果によって発生させた輝度の高い電子ビームを集束し、試料の走査を行い対象部から発生する二次電子を検出することで、試料表面の観察像（二次電子像）を得る装置である。観察像の倍率は10倍から100万倍、加速電圧は0.01kVから30kV、分解能(低真空）は加速電圧30kVの場合1.8nmである。加えて対象部から発生する特性X線をEDSにより検出することで、試料表面のミクロンオーダーの元素分析を行うことが出来る。測定できる元素はBからUまで、エネルギー分解能は135eVである。 最新のLIVE-AIフィルター等オート機能が充実したユーザーフレンドリーな装置で、無機・金属・半導体、バイオなどの幅広い分野で利用が期待される。