研究設備・機器共通予約システム

393 - 飛行時間型二次イオン質量分析装置

IONTOF　M6

■ 予約できません。 × 空きなし。

△ 空きがあります。 ○ ほぼ空いています。

依頼分析

22,660 円（1時間あたり）

概要・性能：

TOF-SIMSは元素・分子を高感度に同時取得できる表面分析装置です。

IONTOF社のM6は情報深さが1-2 nmと非常に浅く、固体試料の表面や薄膜、界面の詳細情報を得ることができるため、幅広い産業分野、研究用途に利用されています。

また、深さ方向の分析にスパッタガンを用いることにより、高精度なデプスプロファイルの取得が可能です。