工-学外63 - X線光学結晶用PCVM加工装置

明昌機工, ノダRFテクノロジーズ　M1Z21U000, NR3N-05

  • 予約状況

    ■ 予約できません。 × 空きなし。 
    △ 空きがあります。  ○ ほぼ空いています。 

    画像

    設置場所

    建屋・棟： 工学研究科　M2棟
    フロア： 1F　CVM室

  • 利用料金

    自主分析
    自主加工
    自主分析時間数：予約時間から決定する
    6,050 円（1時間あたり）

    詳細

    概要・性能：
    チャンバー内寸法：W468mm×D384ｍｍ×H418㎜(約75ℓ)
    チャンバー材質：SUS304
    駆動軸仕様(2軸共通)：ステッピングモーター+ボールねじ
    駆動軸ストローク：上下移動:50mm、水平移動:100mm
    駆動軸最小設定単位(2軸共通)：0.001mm
    RF電源周波数：13.56MHz
    RF出力電力：3000W
    パルス変調入力：1～1kHz
    パルスDuty：5～95%
    パルス入力レベル：TTL
    注意事項： 利用可能な曜日・時間帯：月、水、金の午後（事前に機器利用担当者と要調整）

    基本情報

    機器番号： 工-学外63
    機器状態： 利用可能
    カテゴリー： 15.加工装置
    機器担当者： 佐野　泰久、寺井　嘉奈子
    機器部局： 工学研究科

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