OMU-038 - 複合ビーム加工観察装置（FIB-SEM）

日本電子　JIB-4700F

  • 画像

    設置場所

    住所： 大阪府堺市中区学園町 1番1号
    建屋・棟： 大阪公立大学　中百舌鳥キャンパス　研究基盤共用センター
    フロア： B5棟1A-13室　

  • 利用料金

    自主分析
    通常利用料金  15,000 円 （1時間あたり）
    年間料金（利用上限100時間）  1,200,000 円 （1年あたり）

    詳細

    参照 URL： 大阪公立大学研究基盤共用センター機器紹介
    概要・性能：
    ガリウム線と電子線を操る複合ビーム加工観察装置です。
    FIBは最大照射電流90 nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、高速加工が可能です。
    SEMは低加速条件で高空間分解能(1 kV/1.6 nm)を実現、大電流でも高い空間分解能を維持しています。
    大口径EDS（エネルギー分散型X線分析装置）を導入しており、高速組成分析を行うことができます。
    ナノマニピュレーター(OmniProbe350)が付属しています。
    SEMおよびFIBで観察しながらリフトアウト作業が行えるため、試料室内でTEM試料などの作製を完結させることができます。
    大気非暴露トランスファーシステムを搭載しており、試料を大気に晒すことなく加工/取り出し/持ち運びが可能です。
    注意事項：
    分析内容について、あらかじめ問い合わせ先までご連絡ください。事前相談を行います。
    分析内容、試料の性質、目的によっては対応しかねる場合もあります。

    機器利用の事前相談のほか、本学共用機器に関するご質問等はこのページのお問い合わせボタン、または大阪公立大学研究基盤共用センターのお問い合わせフォームからお問い合わせください。

    大阪公立大学研究基盤共用センターお問い合わせページ　https://www.omu.ac.jp/escari/contact/index.html

    基本情報

    機器番号： OMU-038
    機器状態： 利用可能
    カテゴリー： 15.加工装置
    機器担当者： 研究基盤共用 センター機器担当者
    機器部局： 大阪公立大学

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